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真空镀膜机蒸发时退表什么原因 蒸发镀膜机

2024-09-17 1133 裴璧号

1、真空镀膜机蒸发时退表的原因可能有很多，以下是一些可能的原因：

2、沉积材料不纯：沉积材料可能存在杂质，或者纯度不够高，这会导致在蒸发过程中产生气体和灰尘，从而影响沉积物的质量。

3、蒸发源温度不稳定：蒸发源温度的波动会影响沉积物的均匀性和质量。如果蒸发源温度不稳定，可能会导致沉积物的不均匀性或者厚度变化。

4、靶材与基板距离不当：靶材与基板之间的距离会影响沉积速率。如果距离不当，可能会导致沉积物的厚度不均匀或者出现空洞。

5、真空度不足：在真空条件下进行沉积，如果真空度不足，可能会导致氧气等杂质进入沉积室，从而影响沉积物的质量。

6、基板表面处理不当：基板表面的处理会影响沉积物的附着性和质量。如果基板表面处理不当，可能会导致沉积物的附着性不佳或者出现气泡、裂纹等问题。

7、沉积速率过高：如果沉积速率过高，可能会导致沉积物的厚度不均匀或者出现空洞。

蒸发镀膜机

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